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Wiederholbarkeit: 1,5, 0,4, 0,75, 0,15 µm
Ladung: 7,5, 2 kg
Hub: 40, 16 mm
... für die einfache Integration in komplexe Anwendungen •Liefert branchenführende minimale inkrementelle Bewegung bis 20 nm in XYZ und 0,04 Bogensekunden in θxθyθz •Koordinierung mit anderen Bewegungsachsen (Servo-, Schrittmotor-, ...
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Steinmeyer Mechatronik GmbH
MP105-3 - Vakuum kompakte Mehrachssysteme Schneller, präziser Mikropositionierer • HV / UHV / EUV, 20 - 50 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 1 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV • Schmierung flüssig bis ...
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