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Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 17, 102, 62 mm
Der große SMARPOD basiert auf den SLC-24 Positionieren in einer parallelen Anordnung und bietet einen Verfahrweg von 102 mm in X-Richtung. Der SMARPOD P-SLC-24 kann Nutzlasten von bis zu 5 N positionieren. Er basiert auf einem anderen ...
... Lasers wird über Lichtwellenleiter von der Elektronikeinheit zu den Interferometerköpfen geleitet. Dies ermöglicht einen kompakten und temperaturstabilen Aufbau der Nanopositionier- und Nanomessmaschine.
Planares laserinterferometrisches Mess- und Positioniersystem für AFM • 2,5 D-Positionier- und Messsystem höchster Genauigkeit • Mess- und Positionierbereich: Fläche Ø 100 mm • Laterale Messauflösung ≤ 0,02 nm • Steuerung: ...
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