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Hochgeschwindigkeits-Nanopositioniertische
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Der IKO Nano-Linearmotor besitzt eine ausgezeichnete Performance, wie z.B. Magneten und ein optisches Wegmesssystem im Führungswagen sowie Statorspulen und einen optischen Lesekopf im Tischbett. Als Führung für die Positionierung wird ...

Hub: 1 mm
... Der piezoelektrische Nanopositioniertisch ZSA-1000C von DSM verfügt über eine biegegegeführte Bewegung über einen vertikalen Verfahrweg von 1 mm für Scan-, Mess- und Inspektionsprozesse. Das stabile und steife kinematische ...
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