Hochauflösende Positioniersysteme

Wiederholbarkeit: 1 µm
Ladung: 15 kg
Hub: 200 mm - 1.000 mm

XYZ Gantry für hochdynamische Anwendungen Kundenspezifisch anpassbar • Ideal für hochpräzise und dynamische Anwendungen • Sehr großer Verfahrbereich von 1300 x 800 x 200 mm • Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten kombiniert ...

Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 2,5 µm
Ladung: 5 kg - 20 kg
Hub: 100 mm - 720 mm

XYZ-Doppel-Inspektionsportal für Halbleiter Kundenspezifisch anpassbar • Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern / Halbleitern • Sehr großer Verfahrbereich von 2 x je 720 x 720 x 100 mm • Erlaubt die Integration von zwei ...

Wiederholbarkeit: 0,005 µm - 4,4 µm
Ladung: 5 kg - 25 kg
Hub: 100 mm - 365 mm

8-Achs-Positioniersystem / Goniometer Kundenspezifisch anpassbar • Automatisierte 8-Achs-Inspektion aus verschiedenen Winkeln • Koaxiales Drehsystem, welches die Kameras / Sensoren / Beleuchtung um einen gemeinsamen ...

Wiederholbarkeit: 2 µm
Hub: 65 mm
Geschwindigkeit: 25 mm/s

... Motor-Encoder Kundenspezifische Optionen: - Verschiedene Motorvarianten: DC-Motor oder Schrittmotor - Kombinierbar zum XY-Z Positioniersystem (z.B. LA85, MT130) - Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 - Gebrauchsfertige ...

Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 0,7 µm
Hub: 200 mm
Geschwindigkeit: 15 mm/s - 25 mm/s

... Probeninspektion • Hochpräzise Wiederholgenauigkeit bis 0.3 µm • Reduktion von Messabweichungen auf unter 3 µm Dieses 3-Achs-Positioniersystem wurde für hochpräzise Messanwendungen entwickelt, bei denen der Kreuztisch ...

Wiederholbarkeit: 0,002 µm - 2,4 µm
Hub: 135 mm
Geschwindigkeit: 10 mm/s - 50 mm/s

X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal zur optischen Vermessung von runden Teilen z.B. Wafer, Optiken • Spart die zusätzliche Anschaffung einer ...

Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 1,7 µm
Hub: 100 mm - 300 mm
Geschwindigkeit: 25 mm/s

... auf ein Minimum • Einfache Integration und flexible Kombination mit vorhandenen Kamera-Systemen und Sensoren Das Positioniersystem ermöglicht die Positionierung entlang drei linearer Achsen. Bei dieser Einheit ist ...

Wiederholbarkeit: 0,5 µm - 1,5 µm
Hub: 50, 150, 300 mm
Geschwindigkeit: 25 mm/s

XYZ System für Labor- und Waferinspektion Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für den Auf- und Ausbau Ihrer hochpräzisen Messstechnik • Sehr hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.5 µm • Kleinste Schrittweiten und höchste Zuverlässigkeit ...

Wiederholbarkeit: 0,4 µm - 2,2 µm
Hub: 100 mm - 300 mm
Geschwindigkeit: 1,12 mm/s - 25 mm/s

XZ System für Labor- und Waferinspektion Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für den Auf- und Ausbau Ihrer hochpräzisen Messstechnik • Sehr hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.4 µm • Kleinste Schrittweiten und höchste Zuverlässigkeit ...

Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 0,5 µm
Hub: 50 mm
Geschwindigkeit: 30 m/s

XYZ Positioniersystem für Laborinspektion Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal für den Auf- und Ausbau Ihrer hochpräzisen Messtechnik • Sehr hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.3 µm • Kleinste Schrittweiten und höchste ...

... kryogenen Positioniersysteme von SmarActs sind modular, präzise, anpassbar und thermisch verwaltet, um Ihre Proben während der Positionierungs- oder Scanaufgaben so kalt wie möglich zu halten. Die zentrale Komponente ...

Wiederholbarkeit: 5 µm
Ladung: 30 kg
Hub: 300 mm

... XY-Tische mit offenem Rahmen und niedrigem Profil für ein breites Spektrum an automatisierten, präzisen Positionierungen in mikroskopbasierten Anwendungen. Der Antriebsmechanismus befindet sich an der Seite des Geräts und bietet eine ...