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Wiederholbarkeit: 0,02 mm - 0,1 mm
Ladung: 3 kg - 120 kg
Geschwindigkeit: 100 mm/s - 4.000 mm/s
... Erfindungspatente, Gebrauchsmuster, Patente für das Erscheinungsbild und 76 Software-Urheberrechte. Das mehrachsige Positioniersystem kann aus mehreren linearen Modulen bestehen, um den Hub, die Präzision, die Geschwindigkeit ...
Wiederholbarkeit: 0,005 µm - 4,4 µm
Ladung: 5 kg - 25 kg
Hub: 100 mm - 365 mm
8-Achs-Positioniersystem / Goniometer Kundenspezifisch anpassbar • Automatisierte 8-Achs-Inspektion aus verschiedenen Winkeln • Koaxiales Drehsystem, welches die Kameras / Sensoren / Beleuchtung um einen gemeinsamen ...
Wiederholbarkeit: 0 µm - 1 µm
Ladung: max 2.0 kg
Hub: 3 mm - 4 mm
MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem Kundenspezifisch anpassbar: • extrem hohe Auflösung bis 0.007 µm • maximale Positioniergenauigkeit mit ± 1.5° in Rx und Ry • Belastbarkeit bis 20 N • feinste ...
Wiederholbarkeit: 5 µm
Ladung: 30 kg
Hub: 300 mm
... XY-Tische mit offenem Rahmen und niedrigem Profil für ein breites Spektrum an automatisierten, präzisen Positionierungen in mikroskopbasierten Anwendungen. Der Antriebsmechanismus befindet sich an der Seite des Geräts und bietet eine ...
Wiederholbarkeit: 1,5, 5,5 µm
Hub: 76 mm
Geschwindigkeit: 50 mm/s
Yield-Maximierung im kleinsten Bauraum Dieses hochpräzise Positioniersystem ist speziell als ergänzender Polarisationsfilter für die Miniaturisierung und Automatisierung in der EUV-Lithografie entwickelt worden. Dieser ...
Wiederholbarkeit: 3,3, 2,3 µm
Hub: 200, 305 mm
Geschwindigkeit: 20 mm/s
Dieses Insspektionssystem besteht aus der XY-Stage KT470 auf einer Granitstruktur mit manueller Z-Vertikaleinheit . Diese Kombination eignet sich für den flexiblen und modularen Aufbau von Produktionsanlagen / Inline-Prozessen für Reinräume ...
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