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Beschichtungsmaschinen für Photovoltaikanwendung
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... Das FOM alphaSC ist die ultimative Kombination aus Kontrolle, Funktionalität und Vielseitigkeit in der Dünnschichtforschung und -produktion. Alle Elemente der Hardware, der Software und der Premium-Funktionen wurden darauf zugeschnitten, ...
... Sie eignet sich für die Bereiche Halbleiter und Photovoltaik. Für TOPCon-Prozesszellen im Bereich der Photovoltaik kann die LPCVD-Anlage die Vorbereitung der Tunneloxidschicht/Polyschicht in einem Schritt abschließen. ...
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