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... AlO+SiN-Dünnschichtabscheidung. - Atomlagenabscheidungsverfahren mit besserer Schichtgleichmäßigkeit. - Mehrschichtige Dünnschichten werden in der gleichen Prozessausrüstung oder im gleichen Ofenrohr abgeschieden, was die Prozessschritte ...
... Dieses Gerät erhöht den Wirkungsgrad durch die Abscheidung einer dünnen Al2O3-Schicht auf der Vorderseite des Wafers einer kristallinen Solarzelle durch thermische Atomlagenabscheidung (ALD) zur Bildung einer Passivierungsschicht. Spezifikation Hoher ...
... Labortests und die industrielle Fertigung von Kleinteilen Hervorragend geeignet für komplex geformte 3D-Bauteile ALD-Abscheidung von Al2O3 und TiO2 Ferngesteuerte Plasmaquelle Gaspaneel mit 4 beheizten Vorstufenleitungen ...
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