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1-Achs-Nanopositioniertische
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SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezobetriebener mechanischer Biegungen zur Realisierung hochpräziser Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm. Der PLF3232-x.60 bietet einen Scanbereich von 60 μm in X-Richtung. ...

SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezogetriebener mechanischer Biegungen, um hochpräzise Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm zu realisieren. Der PLF5252-x.200 bietet einen Scanbereich von über 200 μm in X-Richtung. ...

Hub: 400, 600, 800 µm
Geschwindigkeit: 8, 9, 10 m/s
Wiederholbarkeit: 3 nm
... Die piezobetriebenen Tische der NanoScan-SP-Reihe bieten die beste Positionierungsleistung und die schnellste Wiederherstellung zwischen Z-Stapeln. Sie sind mit dem motorisierten Prior-Tisch sowie mit vielen gängigen Mikroskopen kompatibel, ...

Hub: 1 mm
... Elektrische Kapazität: 30 Mikro-Faraden ± 10% - Breite x Länge: 62,5 x 125 mm - Höhe: 25,1 ± 0,1 mm - Masse: 1 Kilogramm ± 10% - Material: Rostfreier Stahl - Kabellänge: 1,5 ...

Hub: 100, 200, 300 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,015 µm - 0,02 µm
... Vakuumschmierung • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Optional mit Controller FMC400/450 Horizontale ...
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